Intel начинает производство чипов с использованием передовой EUV-технологии
Компания достигла этого рубежа на своем заводе Fab 34 в Лейкслипе, Ирландия. Intel оснастила завод оборудованием EUV в рамках инвестиционного плана стоимостью 17 миллиардов евро, запущенного в 2019 году. В ближайшие годы компания планирует потратить еще десятки миллиардов на запуск дополнительных производственных EUV линий по всему миру.
EUV cчитается одним из вариантов фотолитографии следующего поколения. Технология использует свет экстремального ультрафиолетового диапазона с длиной волны около 13,5 нм, т.е. почти рентгеновское излучение. Для создания рисунка используется лазерная импульсная плазма капель олова, отражающая фотомаска и экспонирование подложки, покрытой полимерным светочувствительным материалом - фоторезистом.
Фабрика Intel в Лейкслипе первоначально будет использовать новое оборудование для производства ноутбучных процессоров Meteor Lake (на фото). Каждый процессор Meteor Lake состоит из пяти миниатюрных чипов или чиплетов. Четыре из них содержат вычислительные компоненты, а пятый служит основой, на которой располагаются остальные.
«Сегодняшнее открытие Fab 34 способствует достижению цели ЕС по созданию более устойчивой цепочки поставок полупроводников», — заявил генеральный директор Intel Пэт Гелсингер.
Использование ультрафиолета для производства чипов сопряжено с многочисленными техническими проблемами, на решение которых исследователям потребовались десятилетия. Машины EUV решают эти проблемы с помощью комбинации лазеров, зеркал и магнитно-левитирующих пластин. Сложность этих компонентов является причиной того, что стоимость таких EUV машин составляет около 150 миллионов долларов за штуку.
Аппарат EUV производит ультрафиолетовый свет, направляя два лазерных луча на крошечный кусочек свинца. Первый луч выравнивает металл, а второй испаряет его. Этот процесс повторяется примерно 50 000 раз в секунду, создавая серию высокочастотных импульсов ультрафиолетового света. Свет из EUV-машины проникает на кремниевые пластины, которые, отражаясь через ряд зеркал, превращаются в чипы. Эти зеркала сделаны из более чем 100 слоев материала. Зеркала полируют до тех пор, пока их поверхность не станет совершенно ровной - с точностью до толщины одного атома.
Главные конкуренты Intel, а именно Taiwan Semiconductor Manufacturing Co. Ltd. и Samsung Electronics Co. Ltd., уже давно используют машины EUV для производства процессоров. Сейчас, пытаясь наверстать упущенное, Intel тратит десятки миллиардов долларов на свою производственную инфраструктуру. Компания поставила цель за четыре года внедрить пять новых производственных процессов.
